五軸雷射振鏡

                                      Silicon Nitride SEM

                                      PSO System

  矽晶圓有機層雷射圖案成型暨CO2雪花清洗機

ITO雷射乾式蝕刻機

本設備利用雷射對玻璃或PET基板上之ITO (透明導電膜) 進行蝕刻，並廣泛應用在觸控手機、觸控面板、電子書等產品，做雷射乾式蝕刻之製程。

產品詳細資料

降低製造成本

傳統濕製程需大量化學品添加及廢水處理設備，而雷射乾式製程則不需要以上成本，所以大大降低成本也符合環保。

人員配置少

可一人操作2台設備以上，可大幅降低人事成本，更符合效率。

設備面積小

設備面積僅需4M2之內，比起濕式製程之大面積設備，大大降低場地面積需求，更符合單位面積之使用效益。

導入試樣品及量產之便

因乾式蝕刻機之圖案化非常方便又迅速，導入試樣品之時程大大縮短，並在量產上之變化彈性大幅提升。